Кремний вафатының җылылык оксиды катламы - оксидлаштыручы агент белән югары температура шартларында кремний вафиның ялан өслегендә барлыкка килгән оксид катламы яки кремний катламы.Кремний ваферының җылылык оксиды катламы гадәттә горизонталь труба мичендә үстерелә, һәм үсеш температурасы диапазоны гадәттә 900 ° C ~ 1200 ° C, һәм "дымлы оксидлашу" һәм "коры оксидлашу" ның ике үсеш режимы бар. Rылылык оксиды катламы - "үскән" оксид катламы, ул бер тигезлеккә ия һәм диэлектрик көче CVD сакланган оксид катламына караганда югарырак. Rылылык оксиды катламы - изолятор буларак искиткеч диэлектрик катлам. Кремнийга нигезләнгән күпчелек җайланмаларда җылылык оксиды катламы допинг блоклау катламы һәм өслек диэлектрикы буларак мөһим роль уйный.
Киңәшләр: Оксидлаштыру төре
1. Коры оксидлашу
Кремний кислород белән реакцияләнә, һәм оксид катламы базаль катламга таба хәрәкәт итә. Коры оксидлаштыру 850 - 1200 ° C температурада үткәрелергә тиеш, һәм үсеш темплары түбән, бу MOS изоляция капкасы үсеше өчен кулланыла ала. Qualityгары сыйфатлы, ультра-нечкә кремний оксиды катламы кирәк булганда, дымлы оксидлашуга караганда коры оксидлашуга өстенлек бирелә.
Коры оксидлаштыру сыйфаты: 15нм ~ 300нм (150А ~ 3000А)
2. Дымлы оксидлашу
Бу ысул ~ 1000 ° C ка яну өчен водород һәм югары чисталыклы кислород катнашмасын куллана, шулай итеп су парлары оксид катламы барлыкка китерә. Дымлы оксидлашу коры оксидлашу кебек югары сыйфатлы оксидлашу катламы җитештерә алмаса да, изоляция зонасы буларак куллану өчен җитәрлек, коры оксидлашу белән чагыштырганда, аның үсеш темплары югары.
Дым оксидлаштыру сыйфаты: 50нм ~ 15µм (500А ~ 15µм)
3. Коры ысул - дым ысулы - коры ысул
Бу ысулда саф коры кислород беренче этапта оксидлаштыру миченә чыгарыла, оксидлашу уртасына водород кушыла, һәм водород ахырда саф коры кислород белән оксидлашуны дәвам итәр өчен саклана, тыгызрак оксидлашу структурасын формалаштыра. су парында гомуми дымлы оксидлаштыру процессы.
4. TEOS оксидлашуы
| Оксидлаштыру техникасы | Дымлы оксидлашу яки коры оксидлашу |
| Диаметр | 2 ″ / 3 ″ / 4 ″ / 6 ″ / 8 ″ / 12 ″ |
| Оксид калынлыгы | 100 Å ~ 15µм |
| Толерантлык | +/- 5% |
| Faceир өсте | Бер яклы оксидлаштыру (SSO) / Ике яклы оксидлашу (DSO) |
| Мич | Горизонталь труба миче |
| Газ | Водород һәм кислород газы |
| Температура | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Рекактив индекс | 1.456 |
