Кремний Карбид субстратлары | SiC Wafers

Кыска тасвирлау:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. - вафер һәм алдынгы ярымүткәргеч куллану өчен махсуслашкан әйдәп баручы.Без ярымүткәргеч җитештерүгә, фотоволтаик индустриягә һәм башка өлкәләргә югары сыйфатлы, ышанычлы һәм инновацион продуктлар белән тәэмин итүгә багышланган.

Безнең продукт линиясенә SiC / TaC капланган графит продуктлары һәм керамик продуктлар керә, кремний карбид, кремний нитрид, алюминий оксиды һ.б. кебек төрле материалларны үз эченә ала.

Хәзерге вакытта без чисталыкны тәэмин итүче бердәнбер җитештерүче, 99,9999% SiC каплау һәм 99,9% кремний карбид рестральләштерелгән.Максималь SiC каплау озынлыгы без 2640 мм эшли алабыз.

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Кремний карбид (SiC) бер кристалл материалның зур диапазон аермасы киңлеге (~ Si 3 тапкыр), югары җылылык үткәрүчәнлеге (~ Si 3,3 тапкыр яки GaAs 10 тапкыр), югары электрон туендыру миграция темплары (~ Si 2,5 тапкыр), югары ватылу электр кыр (~ Si 10 тапкыр яки GaAs 5 тапкыр) һәм башка күренекле үзенчәлекләр.

SiC җайланмалары югары температура, югары басым, югары ешлык, югары көчле электрон җайланмалар һәм аэрокосмос, хәрби, атом энергиясе һ.б. экстремаль экологик кушымталар өлкәсендә алыштыргысыз өстенлекләргә ия, традицион ярымүткәргеч материал җайланмаларының җитешсезлекләрен каплыйлар. кушымталар, әкренләп электр ярымүткәргечләренең төп агымына әйләнәләр.

4H-SiC Кремний карбид субстрат спецификасы

Item пункт	Specзенчәлекләр 参数
Политип 晶型	4H -SiC	6H- SiC
Диаметр 晶圆直径	2 дюйм \|3 дюйм \|4 дюйм \|6инч	2 дюйм \|3 дюйм \|4 дюйм \|6инч
Калынлык 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Ucткәрүчәнлек 导电类型	N - тип / Ярым изоляцион N型导电片/ 半绝缘片	N - тип / Ярым изоляцион N型导电片/ 半绝缘片
Допант 掺杂剂	N2 (азот) V (Ванадий)	N2 (азот) V (Ванадий)
Ориентация 晶向	<0001> күчәрендә Окны <0001> 4 ° ка	<0001> күчәрендә Окны <0001> 4 ° ка
Каршылык 电阻率	0.015 ~ 0.03 охм-см (4H-N)	0,02 ~ 0,1 охм-см (6H-N)
Микропип тыгызлыгы (MPD) 微管密度	≤10 / см2 ~ ≤1 / см2	≤10 / см2 ~ ≤1 / см2
TTV 总厚度变化	≤ 15 мм	≤ 15 мм
Bowәя 翘曲度	≤25 мм	≤25 мм
Faceир өсте 表面处理	DSP / SSP	DSP / SSP
Сыйфат 产品等级	Производство / Тикшеренү дәрәҗәсе	Производство / Тикшеренү дәрәҗәсе
Бәллүр стакинг эзлеклелеге 堆积方式	ABCB	ABCABC
Такталар параметры 晶格参数	a = 3.076A, c = 10.053A	a = 3.073A, c = 15.117A
Мисал өчен / eV (Band-gap) 禁带宽度	3.27 eV	3.02 eV
ε (Диэлектрик Констант) 介电常数	9.6	9.66
Сындыру индексы 折射率	n0 = 2.719 ne = 2.777	n0 = 2.707, ne = 2.755

6H-SiC Кремний Карбид субстрат спецификасы

Item пункт	Specзенчәлекләр 参数
Политип 晶型	6H-SiC
Диаметр 晶圆直径	4 дюйм \|6инч
Калынлык 厚度	350μm ~ 450μm
Ucткәрүчәнлек 导电类型	N - тип / Ярым изоляцион N型导电片/ 半绝缘片
Допант 掺杂剂	N2 (азот) V (Ванадий)
Ориентация 晶向	<0001> 4 ° ± 0,5 ° ка
Каршылык 电阻率	0,02 ~ 0,1 охм-см (6H-N тибы)
Микропип тыгызлыгы (MPD) 微管密度	≤ 10 / см2
TTV 总厚度变化	≤ 15 мм
Bowәя 翘曲度	≤25 мм
Faceир өсте 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C йөзе: оптик поляк
Сыйфат 产品等级	Тикшеренү дәрәҗәсе