СемицераSiC калакларыминималь җылылык киңәю өчен эшләнгән, үлчәм төгәллеге критик булган процессларда тотрыклылык һәм төгәллек тәэмин итә. Бу аларны кушымталар өчен идеаль итәваферларкат-кат җылыту һәм суыту циклларына дучар булалар, чөнки вафин көймә структур бөтенлеген саклый, эзлекле эшне тәэмин итә.
Семицераны кертүкремний карбид диффузия паддерларыҗитештерү линиясенә сезнең җылылык һәм химик үзенчәлекләр ярдәмендә сезнең процессның ышанычлылыгын арттырачаклар. Бу калаклар диффузия, оксидлаштыру һәм анналь процесслар өчен бик яхшы, ваферларның һәр адым дәвамында саклык һәм төгәллек белән эшләнүен тәэмин итә.
Инновация Семицераның үзәгендә тораSiC калакдизайн. Бу калаклар булган ярымүткәргеч җиһазларына бертуктаусыз яраклаштырылган, эшкәртү эффективлыгын тәэмин итә. Lightиңел структура һәм эргономик дизайн вафер транспортын яхшыртып кына калмый, ә оператив эш вакытын киметә, нәтиҗәдә производство тәртипкә китерелә.
| Кремний карбидының рестральләштерелгән физик үзлекләре | |
| Милек | Типик кыйммәт |
| Эш температурасы (° C) | 1600 ° C (кислород белән), 1700 ° C (әйләнә-тирә мохитне киметү) |
| SiC эчтәлеге | > 99,96% |
| Бушлай Si эчтәлеге | <0,1% |
| Күпчелек тыгызлык | 2.60-2,70 г / см3 |
| Күренекле күзәнәк | <16% |
| Кысу көче | > 600 MPa |
| Салкын бөкләү көче | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Кайнар бөкләү көче | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| 00ылылык киңәюе @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| Rылылык үткәрүчәнлеге @ 1200 ° C. | 23 Вт / м • К. |
| Эластик модуль | 240 GPa |
| Rылылык шокына каршы тору | Бик яхшы |
