Төп үзенчәлекләр:
1. temperatureгары температураның оксидлашу каршылыгы:
температура 1600 С булганда, оксидлашуга каршы тору бик яхшы.
2. purгары чисталык: химик парларны югары температурада хлорлаштыру шартларында ясыйлар.
3. Эрозиягә каршы тору: югары каты, компакт өслек, нечкә кисәкчәләр.
4. Коррозиягә каршы тору: кислота, алкалы, тоз һәм органик реагентлар.
Төп үзенчәлекләрCVD-SIC каплау
| SiC-CVD үзенчәлекләре | ||
| Бәллүр структурасы | FCC β фаза | |
| Тыгызлыгы | г / см ³ | 3.21 |
| Каты | Викерс каты | 2500 |
| Ашлык күләме | μm | 2 ~ 10 |
| Химик чисталык | % | 99.99995 |
| Atылылык сыйдырышлыгы | J · кг-1 · К-1 | 640 |
| Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
| Флексур көч | MPa (ТР 4 балл) | 415 |
| Яшь модуль | Gpa (4pt бөкләнү, 1300 ℃) | 430 |
| Rылылык киңәюе (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Rылылык үткәрүчәнлеге | (W / mK) | 300 |
