Ярымерадан зәңгәр / яшел LED эпитаксы югары җитештерүчән LED җитештерү өчен заманча карарлар тәкъдим итә. Алга киткән эпитаксиаль үсеш процессларына булышу өчен эшләнгән, ярымсераның Зәңгәр / яшел LED эпитакси технологиясе төрле оптоэлектрон кушымталар өчен критик зәңгәр һәм яшел LED җитештерүдә эффективлыкны һәм төгәллекне арттыра. Заманча Si Epitaxy һәм SiC Epitaxy кулланып, бу чишелеш искиткеч сыйфатны һәм ныклыкны тәэмин итә.
Manufactитештерү процессында, эпитаксиаль үсеш мохитен оптимальләштерүче PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier, RTP Carrier кебек компонентлар белән беррәттән, MOCVD Суссептор бик мөһим роль уйный. Семицераның Зәңгәр / яшел LED эпитаксы эзлекле, югары сыйфатлы нәтиҗәләр җитештерүне тәэмин итеп, LED Epitaxial Susceptor, Barrel Susceptor һәм Monocrystalline Кремнийга тотрыклы ярдәм күрсәтү өчен эшләнгән.
Бу эпитакси процесс Фотовольтаик өлешләр булдыру өчен бик мөһим һәм SiC Epitaxy'та GaN кебек кушымталарга ярдәм итә, гомуми ярымүткәргеч эффективлыгын күтәрә. Pancake Susceptor конфигурациясендә яки башка алдынгы көйләүләрдә кулланылса да, ярымсераның Зәңгәр / яшел LED эпитакси чишелешләре ышанычлы җитештерүчәнлек тәкъдим итә, җитештерүчеләргә югары сыйфатлы LED компонентларына булган ихтыяҗны канәгатьләндерергә булыша.
Төп үзенчәлекләр:
1. temperatureгары температураның оксидлашу каршылыгы:
температура 1600 С булганда, оксидлашуга каршы тору бик яхшы.
2. Purгары чисталык: югары температурада хлорлаштыру шартларында химик пар парламенты белән ясалган.
3. Эрозиягә каршы тору: югары каты, компакт өслек, нечкә кисәкчәләр.
4. Коррозиягә каршы тору: кислота, алкалы, тоз һәм органик реагентлар.
Төп үзенчәлекләрCVD-SIC каплау
| SiC-CVD үзенчәлекләре | ||
| Бәллүр структурасы | FCC β фаза | |
| Тыгызлыгы | г / см ³ | 3.21 |
| Каты | Викерс каты | 2500 |
| Ашлык күләме | μm | 2 ~ 10 |
| Химик чисталык | % | 99.99995 |
| Atылылык сыйдырышлыгы | J · кг-1 · К-1 | 640 |
| Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
| Флексур көч | MPa (ТР 4 балл) | 415 |
| Яшь модуль | Gpa (4pt бөкләнү, 1300 ℃) | 430 |
| Rылылык киңәюе (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Rылылык үткәрүчәнлеге | (W / mK) | 300 |
