Тантал карбид белән капланган сенсор ярдәмче тәлинкәнечкә катлам белән капланган суссептор яки терәк структурасытантал карбид. Бу каплау сизүчән өслегендә физик парны чүпләү (PVD) яки химик пар парламенты (CVD) кебек техника ярдәмендә формалашырга мөмкин, бу сизүчегә өстенлекле сыйфатлар бирә.тантал карбид.
Semicera төрле компонентлар һәм йөртүчеләр өчен махсус тантал карбид (TaC) каплаулары белән тәэмин итә.Semicera әйдәп баручы каплау процессы тантал карбид (TaC) каплауларына югары чисталыкка, югары температураның тотрыклылыгына һәм югары химик толерантлыкка ирешергә мөмкинлек бирә, SIC / GAN кристаллларының һәм EPI катламнарының продукт сыйфатын яхшырта (Графит белән капланган TaC сусепторы), һәм төп реактор компонентларының гомерен озайту. Танталь карбид TaC каплавын куллану - чит проблеманы чишү һәм кристалл үсешенең сыйфатын яхшырту, һәм Семицера танталь карбид каплау технологиясен (CVD) чиште, халыкара дәрәҗәгә иреште.
Озак еллар үсештән соң, Семицера технологиясен яулап алдыCVD TaCфәнни-тикшеренү бүлегенең уртак тырышлыгы белән. SiC ваферларының үсеш процессында җитешсезлекләр җиңел, ләкин кулланганнан соңTaC, аерма зур. Түбәндә вафиннарны TaC белән һәм аннан башка чагыштыру, шулай ук Симицераның бер кристалл үсеше өчен өлешләре.
Танталь карбид белән капланган төп тәлинкәләрнең төп үзенчәлекләре:
1. temperatureгары температураның тотрыклылыгы: Тантал карбидының югары температураның тотрыклылыгы бар, капланган база таянычы югары температурада эш шартларында ярдәм кирәк.
2. Коррозиягә каршы тору: Тантал карбид каплавы яхшы коррозиягә каршы тора, химик коррозиягә һәм оксидлашуга каршы тора ала һәм базның хезмәт срогын озайта.
3. hardгары катылык һәм киемгә каршы тору: Танталь карбид каплауның югары катылыгы төп таянычка яхшы кием каршылыгы бирә, бу югары киемгә каршы торуны таләп иткән очраклар өчен яраклы.
4. Химик тотрыклылык: Танталь карбид төрле химик матдәләргә югары тотрыклылыкка ия, капланган база таянычы кайбер коррозицион шартларда яхшы эшли.
белән һәм аннан башка
TaC кулланганнан соң (уңда)
Моннан тыш, СемицераTaC белән капланган продуктларчагыштырганда озынрак хезмәт срокы һәм зуррак температурага каршы торуSiC каплаулары.Лаборатория үлчәүләре безнең моны күрсәттеTaC каплауларыОзак вакыт дәвамында 2300 градуска кадәр температурада эзлекле эшли ала. Түбәндә безнең үрнәкләрнең кайбер мисаллары китерелгән:
