Тантал карбид белән капланган графит таблицасынечкә катламлы графит материалтантал карбидсубстрат өслегендә. Танталь карбидның нечкә катламы гадәттә графит субстрат өслегендә физик пар парламенты (PVD) яки химик пар парламенты (CVD) кебек техника ярдәмендә барлыкка килә. Бу каплау югары катылык, искиткеч киемгә каршы тору, коррозиягә каршы тору һәм югары температураның тотрыклылыгы кебек искиткеч үзенчәлекләргә ия.
Semicera төрле компонентлар һәм йөртүчеләр өчен махсус тантал карбид (TaC) каплаулары белән тәэмин итә.Semicera әйдәп баручы каплау процессы тантал карбид (TaC) каплауларына югары чисталыкка, югары температураның тотрыклылыгына һәм югары химик толерантлыкка ирешергә мөмкинлек бирә, SIC / GAN кристаллларының һәм EPI катламнарының продукт сыйфатын яхшырта (Графит белән капланган TaC сусепторы), һәм төп реактор компонентларының гомерен озайту. Танталь карбид TaC каплавын куллану - чит проблеманы чишү һәм кристалл үсешенең сыйфатын яхшырту, һәм Семицера танталь карбид каплау технологиясен (CVD) чиште, халыкара дәрәҗәгә иреште.
Озак еллар үсештән соң, Семицера технологиясен яулап алдыCVD TaCфәнни-тикшеренү бүлегенең уртак тырышлыгы белән. SiC ваферларының үсеш процессында җитешсезлекләр җиңел, ләкин кулланганнан соңTaC, аерма зур. Түбәндә вафиннарны TaC белән һәм аннан башка чагыштыру, шулай ук Симицераның бер кристалл үсеше өчен өлешләре.
Тантал карбид белән капланган графит таблицасының төп өстенлекләре:
1. temperatureгары температурага каршы тору: Тантал карбидының эретү ноктасы һәм искиткеч югары температура тотрыклылыгы бар, капланган графит таблицасын югары температура шартларында куллану өчен яраклы итә.
2. Коррозиягә каршы тору: Тантал карбид каплавы күп химик коррозив матдәләр эрозиясенә каршы торырга һәм материалның хезмәт срогын озайтырга мөмкин.
3. Hardгары катылык: Тантал карбид нечкә катламының югары каты булуы яхшы киемгә каршы тора һәм югары киемгә каршы торуны таләп итә торган кушымталар өчен яраклы.
4. Химик тотрыклылык: Тантал карбид каплавы химик коррозиягә бик яхшы тотрыклылыкка ия һәм кайбер коррозицион чараларда куллану өчен яраклы.
белән һәм аннан башка
TaC кулланганнан соң (уңда)
Моннан тыш, СемицераTaC белән капланган продуктларчагыштырганда озынрак хезмәт срокы һәм зуррак температурага каршы торуSiC каплаулары.Лаборатория үлчәүләре безнең моны күрсәттеTaC каплауларыОзак вакыт дәвамында 2300 градуска кадәр температурада эзлекле эшли ала. Түбәндә безнең үрнәкләрнең кайбер мисаллары китерелгән:
