TaC капланган тәлинкә - SiC эпитаксиаль процессларда куллану өчен эшләнгән махсус диск, югары сыйфатлы графит материалдан төгәллек белән эшләнгән. Аның өслеге танталь карбид (TaC) белән җентекләп капланган, гаҗәеп чисталыгы һәм көче белән танылган кушылма. TaC капламасы тәлинкәнең ныклыгын һәм югары температураларга каршы торуны көчәйтә, SiC эпитаксиаль процессларының таләпчән шартлары өчен идеаль итә.
Бу инновацион TaC капланган тәлинкә - SiC эпитаксиаль процессларда куллану өчен эшләнгән, югары сыйфатлы графит материалыннан төгәллек белән эшләнгән махсус диск. TaC капланган тәлинкә өслеге танталь карбид (TaC) белән җентекләп капланган, гаҗәеп чисталыгы һәм көче белән танылган кушылма. SiC эпитаксиаль үсешнең төрле этапларында ваферлар йөртү өчен ышанычлы мәйдан булып хезмәт итә. Аның югары чисталыклы графит базасы тотрыклы һәм инерт өслеген тәэмин итә, ә TaC каплавы химик реакцияләрдән һәм киемнән саклауның өстәмә катламын өсти.
СемикчорыTaC капланган тәлинкә клиентларның конкрет таләпләренә туры китереп көйләнә, оптималь җитештерүчәнлекне һәм аларның SiC эпитаксиаль системалары белән туры килүен тәэмин итә. Зурлыгы, формасы яки башка спецификацияләре булсын, бу тәлинкәләр һәр кушымтаның уникаль ихтыяҗларын канәгатьләндерү өчен эшләнгән.
белән һәм аннан башка
TaC кулланганнан соң (уңда)
Моннан тыш, СемицераTaC белән капланган продуктларчагыштырганда озынрак хезмәт срокы һәм зуррак температурага каршы торуSiC каплаулары.Лаборатория үлчәүләре безнең моны күрсәттеTaC каплауларыОзак вакыт дәвамында 2300 градуска кадәр температурада эзлекле эшли ала. Түбәндә безнең үрнәкләрнең кайбер мисаллары китерелгән:
