TaC капланган графит кулланма боҗраларынечкә катлам чүплегенә карагызтантал карбидграфит белешмә боҗрасы өстендә аның киеменә каршы торуны, югары температурага каршы торуны һәм химик тотрыклылыкны яхшырту өчен. Бу каплау гадәттә график пар боҗрасы өстендә физик парны чүпләү (PVD) яки химик пар парламенты (CVD) кебек техника ярдәмендә барлыкка килә.
Semicera төрле компонентлар һәм йөртүчеләр өчен махсус тантал карбид (TaC) каплаулары белән тәэмин итә.Semicera әйдәп баручы каплау процессы тантал карбид (TaC) каплауларына югары чисталыкка, югары температураның тотрыклылыгына һәм югары химик толерантлыкка ирешергә мөмкинлек бирә, SIC / GAN кристаллларының һәм EPI катламнарының продукт сыйфатын яхшырта (Графит белән капланган TaC сусепторы), һәм төп реактор компонентларының гомерен озайту. Танталь карбид TaC каплавын куллану - чит проблеманы чишү һәм кристалл үсешенең сыйфатын яхшырту, һәм Семицера танталь карбид каплау технологиясен (CVD) чиште, халыкара дәрәҗәгә иреште.
Озак еллар үсештән соң, Семицера технологиясен яулап алдыCVD TaCфәнни-тикшеренү бүлегенең уртак тырышлыгы белән. SiC ваферларының үсеш процессында җитешсезлекләр җиңел, ләкин кулланганнан соңTaC, аерма зур. Түбәндә вафиннарны TaC белән һәм аннан башка чагыштыру, шулай ук Симицераның бер кристалл үсеше өчен өлешләре.
TaC белән капланган графит кулланма боҗраларының төп үзенчәлекләре:
1. temperatureгары температурага каршы тору: TaC каплавы бик югары температураның тотрыклылыгына ия һәм югары температура шартларында тотрыклылыкны саклый ала.
2. Киемгә каршы тору: Тантал карбид нечкә катламының югары каты булуы күрсәткеч боҗрасына яхшы киемгә каршы тора һәм хезмәт срогын озайта.
3. Химик тотрыклылык: TaC каплавы химик коррозиягә каршы югары тотрыклылыкка ия, аны кайбер коррозицион медиада куллану өчен яраклы итә.
4. Сүрелүчәнлекне киметү: TaC капламы графит җитәкчелеге боҗрасы һәм башка компонентлар арасындагы сүрелүне эффектив киметә һәм механик мөһерләрнең эффективлыгын күтәрә ала.
белән һәм аннан башка
TaC кулланганнан соң (уңда)
Моннан тыш, СемицераTaC белән капланган продуктларчагыштырганда озынрак хезмәт срокы һәм зуррак температурага каршы торуSiC каплаулары.Лаборатория үлчәүләре безнең моны күрсәттеTaC каплауларыОзак вакыт дәвамында 2300 градуска кадәр температурада эзлекле эшли ала. Түбәндә безнең үрнәкләрнең кайбер мисаллары китерелгән:
