СемицераКремний карбид керамик каплаубик каты һәм киемгә чыдам кремний карбид (SiC) материалыннан эшләнгән югары җитештерүчән саклагыч каплау. Катлам гадәттә субстрат өслегендә CVD яки PVD процессы белән урнаштырылакремний карбид кисәкчәләре, искиткеч химик коррозиягә каршы тору һәм югары температураның тотрыклылыгы. Шуңа күрә, кремний карбид керамик каплау ярымүткәргеч җитештерү җиһазларының төп компонентларында киң кулланыла.
Ярымүткәргеч җитештерүдә,SiC каплау1600 ° C га кадәр булган бик югары температураларга каршы тора ала, шуңа күрә Кремний Карбид керамик каплавы еш кына югары температурада яки коррозицион шартларда зыянны булдырмас өчен җиһазлар яки кораллар өчен саклагыч катлам буларак кулланыла.
Шул ук вакытта,кремний карбид керамик каплаукислоталар, эшкәртүләр, оксидлар һәм башка химик реагентлар эрозиясенә каршы тора ала, һәм төрле химик матдәләргә коррозиягә каршы тора. Шуңа күрә бу продукт ярымүткәргеч тармагында төрле коррозив мохит өчен яраклы.
Моннан тыш, башка керамик материаллар белән чагыштырганда, SiC җылылык үткәрүчәнлегенә ия һәм җылылыкны эффектив үткәрә ала. Бу үзенчәлек ярымүткәргеч процессларда төгәл температура контролен таләп итә, югары җылылык үткәрүчәнлеген билгелиКремний карбид керамик каплауҗылылыкны тигез таратырга, җирле кызып китүдән сакларга һәм җайланманың оптималь температурада эшләвен тәэмин итә.
| CVD сик каплауның төп физик үзлекләре | |
| Милек | Типик кыйммәт |
| Бәллүр структурасы | FCC β фазалы поликристалл, нигездә (111) юнәлешле |
| Тыгызлыгы | 3.21 г / см³ |
| Каты | 2500 Викерс каты （500г йөк） |
| Бөртекле SiZe | 2 ~ 10μм |
| Химик чисталык | 99.99995% |
| Atылылык сыйдырышлыгы | 640 J · кг-1· К.-1 |
| Сублимация температурасы | 2700 ℃ |
| Флексур көч | 415 MPa RT 4 балл |
| Яшь модуль | 430 Gpa 4pt бөкләнү, 1300 ℃ |
| Rылылык үткәрүчәнлеге | 300W · м-1· К.-1 |
| Rылылык киңәюе (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
