Семицерабелән таныштыраЯрымүткәргеч кассета, ярымүткәргеч җитештерү процессында ваферларны куркынычсыз һәм эффектив эшкәртү өчен мөһим корал. Highгары төгәллек белән эшләнгән бу кассета сезнең вафиннарыгызның куркынычсыз саклануын һәм ташылуын тәэмин итә, һәр этапта аларның сафлыгын саклый.
Supгары саклау һәм ныклык.Әр сүзнеңЯрымүткәргеч кассетаСемицерадан сезнең ваферларга максималь яклау тәкъдим ителә. Нык, пычрануга чыдам материаллардан төзелгән, ул сезнең ваферларны потенциаль зыяннан һәм пычранудан саклый, бу чиста бүлмә өчен идеаль сайлау. Кассета дизайны кисәкчәләр җитештерүне киметә һәм эшкәртү һәм ташу вакытында вафиннарның кагылмаган һәм куркынычсыз булуын тәэмин итә.
Оптималь башкару өчен көчәйтелгән дизайнСемицераЯрымүткәргеч кассетатөгәл инженерлык дизайны, төгәл вафер тигезләнешен тәэмин итә, тигезсезлек һәм механик зыян куркынычын киметә. Кассетаның оялары һәр вафинны куркынычсыз тоту өчен бик яхшы урнашкан, тырнакларга яки башка кимчелекләргә китерергә мөмкин булган хәрәкәтне булдырмый.
Күпкырлылык һәм туры килү.Әр сүзнеңЯрымүткәргеч кассетакүпкырлы һәм төрле вафер зурлыкларына туры килә, аны ярымүткәргеч эшкәртү этаплары өчен яраклы итә. Стандарт яки вафин үлчәмнәре белән эшлисезме, бу кассета сезнең ихтыяҗларыгызга яраклаша, җитештерү процессларында сыгылучылык тәкъдим итә.
Тәртипле эшкәртү һәм эффективлыкКулланучыны истә тотып эшләнгән ,.Ярымүткәргеч кассетаҗиңел һәм эшкәртү җиңел, тиз һәм эффектив йөкләү һәм бушату мөмкинлеге бирә. Бу эргономик дизайн вакытны саклап калмыйча, кеше хатасы куркынычын да киметә, сезнең объект эчендә эшне тәэмин итә.
Сәнәгать стандартларына туры килүСемицера тәэмин итәЯрымүткәргеч кассетасыйфат һәм ышанычлылык өчен иң югары тармак стандартларына туры килә. Eachәр кассета ярымүткәргеч җитештерүнең таләпчән шартларында эзлекле эшләвен гарантияләү өчен катгый сынаулар уза. Сыйфатка багышлау сезнең вафиннарыгызның һәрвакыт саклануын, тармакта кирәк булган югары стандартларны саклап калуын тәэмин итә.
| Предметлар | Producитештерү | Тикшеренү | Думи |
| Бәллүр параметрлар | |||
| Политип | 4H | ||
| Faceир өстендә ориентация хата | <11-20> 4 ± 0,15 ° | ||
| Электр параметрлары | |||
| Допант | азот | ||
| Каршылык | 0.015-0.025ohm · см | ||
| Механик параметрлар | |||
| Диаметр | 150,0 ± 0,2 мм | ||
| Калынлык | 350 ± 25 мм | ||
| Беренчел яссы юнәлеш | [1-100] ± 5 ° | ||
| Беренчел яссы озынлык | 47,5 ± 1,5 мм | ||
| Икенче фатир | Беркем дә юк | ||
| TTV | ≤5 мм | ≤10 мм | ≤15 мм |
| ЛТВ | ≤3 μm (5 мм * 5 мм) | ≤5 μm (5 мм * 5 мм) | ≤10 μm (5 мм * 5 мм) |
| Bowәя | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Сугыш | ≤35 мм | ≤45 μm | ≤55 мм |
| Фронт (Si-face) тупаслыгы (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Структурасы | |||
| Микропип тыгызлыгы | <1 ea / cm2 | <10 ea / cm2 | <15 ea / cm2 |
| Металл пычраклары | ≤5E10атом / см2 | NA | |
| BPD | 001500 ea / cm2 | 0003000 ea / см2 | NA |
| TSD | 00500 ea / cm2 | 0001000 ea / cm2 | NA |
| Алгы сыйфат | |||
| Фронт | Si | ||
| Faceир өсте бетү | Si-face CMP | ||
| Кисәкчәләр | ≤60ea / wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| Сызулар | ≤5ea / мм. Кумулятив озынлык ≤Диаметр | Кумулятив озынлык≤2 * Диаметр | NA |
| Алсу кабыгы / чокырлар / таплар / стриацияләр / ярыклар / пычрану | Беркем дә юк | NA | |
| Кыр чиплары / индекслар / сыну / алты тәлинкәләр | Беркем дә юк | ||
| Политип өлкәләре | Беркем дә юк | Кумулятив мәйдан ≤20% | Кумулятив мәйдан ≤30% |
| Алгы лазер маркировкасы | Беркем дә юк | ||
| Арткы сыйфат | |||
| Артка тәмамлау | C-йөзле CMP | ||
| Сызулар | ≤5ea / мм, кумулятив озынлык≤2 * Диаметр | NA | |
| Арткы кимчелекләр (кыр чиплары / индекс) | Беркем дә юк | ||
| Арткы тупаслык | Ra≤0.2nm (5μm * 5μm) | ||
| Арткы лазер маркировкасы | 1 мм (өске кырдан) | ||
| Кыр | |||
| Кыр | Чамфер | ||
| Пакетлау | |||
| Пакетлау | Эпи вакуум упаковка белән әзер Күп ваферлы кассета төрү | ||
| * Искәрмәләр NA "NA" бернинди сорау да әйтелмәгән әйберләр SEMI-STD турында булырга мөмкин. | |||
