Вафер ташучы белән таныштыру
Продукт каталогиясе
▶PECVD & TALOX процессы өчен вафер ташучы системасы
• PECVD & TALOX графит көймәсе (M4 ~ M12)
• Вертикаль SM-көймә (M4, M6)
• Имплант һәм душ графит өлеше (M4 ~ M6)
• C / C поднос һәм керамик каплау
• Металл RIE-поднос һәм керамик каплау
• Вакуум мөһере: O-Ring & SQ-Ring
▶Текстурлау һәм дымны чистарту процессы
• LSC H-Carrier яки кассета (M4 ~ M12)
• LSC V-Carrier яки кассета (M4 ~ M12)
• ASC ташучы яки кассета (M4, M6)
• W / F ташучы һәм саклау тартмасы (M4 ~ M12)
Транспорт тәгәрмәче (ролик) сериясе
▶Кояш күзәнәк ташучы һәм металл ташучы
• TRC ташучы яки кассета (M4 ~ M12)
• Журнал (BELT белән)
Графит көймәсе (Н-тип)
19P6-216CT (WF M4 ~ M12)
Графит көймәсе (Н-тип)
21P6-240CT WF M4 ~ M12)
Графит көймәсе (Н-тип)
23P7-308CT (W / F M4 ~ M12)
Графит көймәсе (Н-тип)
22P / 7-294TP (W / F M4 ~ M12)
Графит көймәсе (Н-тип)
W182-22P7-294CT (W / F M12)
W182-21P6-240CT (W / F M12)
WF CARRIER & Саклау тартмасы (~ M12)
C / C ТОРМЫШ яки КАРИЕР (M4 ~ M10)
C / C ТОРМЫШ яки КАРИЕР (M4 ~ M10)
Вертикаль көймә (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~ M6)
TRC CARRIER (~ M12)
TRC CARRIER (~ M12)
Графит-көймә (M12)
PECVD процессы өчен вафер ташучы системасы
▶ Графит көймәсе (CT-конструкцияләнгән) M10 / M12 процессы
• Махсус Дизайн Концепциясе
▶ ГРАФИТ КАТЫ (CT-конструкцияләнгән) M4 / M6 процессы
▶ Көймә аксессуары
▶ Вертикаль көймә-161,7 мм ВАФЕР
▶ Вертикаль көймә-166 мм вафер
ERT Вертикаль көймә-161,7 мм, 166 мм WAFER
Кояш күзәнәк ташучы һәм металл TRC ташучы
ТYР: Автоматизация
WAFER SIZE: ① 156 × 156MM ② 156,75 × 156,75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 мм ⑥ 210 × 210 мм
Куллану: йөртү (кассета)
Мөмкинлек: 100 бит
Питч: 4.76ММ / 5.953 мм / 6.35 мм
DIMENSION: якынча 559 × 220 × 220ММ
Якынча 712 × 260 × 260ММ
Уңайлык: Атмосфера
МАТЕРИАЛ: УТ, ЯК БАР-Алюминий (анодизация)
ЯК ПЛЕТ-ПОМ (антистатик)
Түбән бар-EPDM / PU / VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
ШОВЕР ПЛЕТ & ИМПЛАНТ, КАРИЕР
