Эпитаксиаль үсеш - бер кристалл субстратта (субстрат) бер кристалл катламны үстерүче технология, субстрат белән бер үк кристалл ориентациясе, оригиналь кристалл тышкы яктан сузылган кебек. Бу яңа үскән бер кристалл катлам үткәрүчәнлек төре, каршылык һ.б. ягыннан субстраттан аерылып торырга мөмкин, һәм төрле калынлыктагы һәм төрле таләпләр белән күп катлы бер кристаллны үстерә ала, шулай итеп җайланма дизайнының сыгылмалылыгын һәм җайланма эшенең сыгылмалылыгын сизелерлек яхшырта ала. Моннан тыш, эпитаксиаль процесс PN тоташу изоляция технологиясендә һәм интеграль схемаларда һәм зур масштаблы интеграль схемаларда материаль сыйфатын яхшыртуда киң кулланыла.
Эпитакси классификациясе, нигездә, субстрат һәм эпитаксиаль катламның төрле химик составларына һәм үсешнең төрле ысулларына нигезләнә.
Төрле химик композицияләр буенча эпитаксиаль үсешне ике төргә бүлеп була:
1. Гомепитаксиаль: Бу очракта эпитаксиаль катлам субстрат белән бер үк химик составка ия. Мәсәлән, кремний эпитаксиаль катламнары турыдан-туры кремний субстратларында үстерелә.
2. Гетероепитакси: Монда эпитаксиаль катламның химик составы субстратныкыннан аерылып тора. Мәсәлән, сапфир субстратында галлий нитрид эпитаксиаль катлам үстерелә.
Төрле үсеш ысуллары буенча эпитаксиаль үсеш технологиясен дә төрле төрләргә бүлеп була:
1.
2. Аның катнаш ярымүткәргеч материаллар һәм приборлар әзерләүдә киң кулланмалары бар.
3. Бу технология белән әзерләнгән фильмнар субстратка тәлинкәгә туры килә һәм катнаш ярымүткәргеч материаллар һәм приборлар әзерләү өчен еш кулланыла.
4. Бу технология зур мәйданлы, югары сыйфатлы бер кристалл фильмнар әзерләү өчен яраклы, һәм ярымүткәргеч материаллар һәм приборлар әзерләүдә аеруча күренекле.
5. Аның югары сыйфатлы бер кристалл нечкә фильмнар әзерләүдә киң кулланмалары бар.
6. Бу технология зур мәйданлы, югары сыйфатлы бер кристалл фильмнар әзерли ала һәм еш ярымүткәргеч материаллар һәм приборлар әзерләү өчен кулланыла.
7. Бу технология шулай ук зур мәйданлы, югары сыйфатлы бер кристалл фильмнар әзерләү өчен яраклы, һәм аеруча ярымүткәргеч материаллар һәм приборлар әзерләүдә кулланыла.
Пост вакыты: 06-2024 май