Гомуми TaC капланган графит өлешләрен әзерләү ысулы

1 өлеш
CVD (Химик парны чүпләү) ысулы:
900-2300 At, TaCl кулланып₅һәм CnHm тантал һәм углерод чыганаклары, H₂ атмосфераны киметүче, Ar₂as ташучы газ, реакция чүпләү фильмы. Әзерләнгән каплау компакт, бертөрле һәм югары чисталык. Шулай да, катлаулы процесс, кыйммәт бәя, һава агымын контрольдә тоту һәм түбән эффективлык кебек кайбер проблемалар бар.
2 өлеш
Синтинг ысулы:
Углерод чыганагы, тантал чыганагы, дисперсант һәм бәйләүче булган пычрак графит белән капланган һәм кипкәннән соң югары температурада синтерланган. Әзерләнгән каплау регуляр юнәлешсез үсә, аз бәягә ия һәм зур күләмле җитештерү өчен яраклы. Зур графитта бердәм һәм тулы каплауга ирешү, ярдәм җитешсезлекләрен бетерү һәм каплау бәйләнеш көчен көчәйтү өчен өйрәнергә кирәк.
3 өлеш
Плазманы сиптерү ысулы:
TaC порошогы плазма дугасы белән югары температурада эретелә, югары температуралы тамчыларга атомлаштырыла һәм графит материал өслегенә сиптерелә. Вакуум булмаганда оксид катламын формалаштыру җиңел, һәм энергия куллану зур.

 

Рәсем. GaN эпитаксиаль үскән MOCVD җайланмасында (Veeco P75) кулланылганнан соң вафер поднос. Сул яктагысы TaC белән, уң ягы SiC белән капланган.

TaC капланганграфит өлешләрен чишәргә кирәк

1 өлеш
Бәйләү көче:
TaC һәм углерод материаллары арасында җылылык киңәйтү коэффициенты һәм башка физик үзлекләр төрле, каплау бәйләнеше түбән, ярыклардан, күзәнәкләрдән һәм җылылык стрессыннан саклану авыр, һәм каплау черү булган фактик атмосферада җиңел. кабат-кабат күтәрелү һәм суыту процессы.
2 өлеш
Чисталык:
TaC каплауtemperatureгары температура шартларында пычраклыклардан һәм пычранудан саклану өчен ультра югары чисталык булырга тиеш, һәм тулы каплау өслегендә һәм эчендә ирекле углерод һәм эчке пычракларның эффектив эчтәлек стандартлары һәм характеристика стандартлары килешенергә тиеш.
3 өлеш
Тотрыклылык:
00гары температурага каршы тору һәм химик атмосферага каршы тору 2300 above өстендә каплауның тотрыклылыгын сынау өчен иң мөһим күрсәткечләр. Пинхоллар, ярыклар, югалган почмаклар, һәм бер ориентацияле ашлык чикләре коррозив газларның графитка үтеп керүенә китерә, нәтиҗәдә каплаудан саклану уңышсызлыгы китерә.
4 өлеш
Оксидлашуга каршы тору:
TaC Ta2O5 белән 500 above югары булганда оксидлаша башлый, һәм температура һәм кислород концентрациясе арту белән оксидлашу дәрәҗәсе кискен арта. Surfaceир өслеген оксидлаштыру ашлык чикләреннән һәм кечкенә бөртекләрдән башлана, әкренләп багана кристалларын һәм ватылган кристалларны барлыкка китерә, нәтиҗәдә күп санлы бушлыклар һәм тишекләр барлыкка килә, һәм кислород инфилтрациясе капланганчы көчәя. Нәтиҗә ясалган оксид катламы начар җылылык үткәрүчәнлегенә һәм тышкы кыяфәтенә төрле төсләр бирә.
5 өлеш
Бердәмлек һәм тупаслык:
Катлам өслегенең тигез булмаган таралуы җирле җылылык стресс концентрациясенә китерергә мөмкин, ярылу һәм таралу куркынычын арттырырга мөмкин. Моннан тыш, өслекнең тупаслыгы каплау белән тышкы мохитнең үзара бәйләнешенә турыдан-туры тәэсир итә, һәм бик югары тупаслык җиңелчә вафер һәм тигез булмаган җылылык кыры белән сүрелүгә китерә.
6 өлеш
Ашлык күләме:
Бердәм ашлык күләме каплауның тотрыклылыгына ярдәм итә. Ашлык күләме кечкенә булса, бәйләнеш тыгыз түгел, һәм оксидлашу һәм коррозияләү җиңел, нәтиҗәдә ашлык читендәге күп санлы ярыклар һәм тишекләр барлыкка килә, бу каплауның саклагыч эшләрен киметә. Ашлык зурлыгы зур булса, чагыштырмача тупас, һәм җылылык стрессы астында каплау җиңел.