Производство линиясенең алгы өлеше нигез салу һәм йорт стеналарын төзү кебек. Ярымүткәргеч җитештерүдә бу этап кремний вафында төп структуралар һәм транзисторлар булдыруны үз эченә ала.
FEOL-ның төп адымнары:
1. Чистарту:Нечкә кремний вафиннан башлап, пычракларны бетерү өчен чистартыгыз.
2. Оксидлаштыру:Чипның төрле өлешләрен аеру өчен, кремний диоксиды катламын үстерегез.
3. Фотолитография:Фотолитографияне кулланыгыз, вафинга үрнәкләр куегыз, яктылык белән план төзергә охшаган.
4. Эшләү:Кирәкле үрнәкләрне ачу өчен кирәкмәгән кремний диоксидын чыгарыгыз.
5. Допинг:Электр үзлекләрен үзгәртү өчен кремнийга пычраклар кертү, транзисторлар, теләсә нинди чипның төп блоклары.
Сызыкның урта ахыры (MEOL): Нокталарны тоташтыру
Productionитештерү линиясенең уртасы өйгә чыбык һәм сантехника кую кебек. Бу этап FEOL этапында ясалган транзисторлар арасында бәйләнеш урнаштыруга юнәлтелгән.
MEOL-ның төп адымнары:
1. Диэлектрик чүплек:Транзисторларны саклау өчен изоляцион катламнарны (диэлектрик дип атыйлар) урнаштырыгыз.
2. Контакт формалаштыру:Транзисторларны бер-берсенә һәм тышкы дөньяга тоташтыру өчен контактлар формалаштырыгыз.
3. үзара бәйләнеш:Электр сигналлары өчен юллар ясау өчен металл катламнарны өстәгез, өйнең чыбыксыз һәм көчсез булуын тәэмин итү өчен.
Арткы сызык (BEOL): Тәмамлау
-
Productionитештерү линиясенең арткы очлары өйгә соңгы кагылуларны өстәгәнгә охшаган - җиһазлар кую, буяу, һәм барысы да эшләвен тәэмин итү. Ярымүткәргеч җитештерүдә бу этап соңгы катламнарны өстәргә һәм чипны төрергә әзерли.
BEOL-ның төп адымнары:
1. Өстәмә металл катламнары:Чипның катлаулы эшләрне һәм югары тизлекне эшләвен тәэмин итеп, үзара бәйләнешне көчәйтү өчен берничә металл катлам өстәгез.
2. Пассивация:Чипны экологик зыяннан саклар өчен саклагыч катламнар кулланыгыз.
3. Тест:Чипны барлык спецификацияләргә туры килүен тикшерү өчен катгый сынауга тапшырыгыз.
4. Бәяләү:Вафинны аерым чипларга кисегез, аларның һәрберсе төрергә һәм электрон җайланмаларда кулланырга әзер.
Пост вакыты: Июль-08-2024