Ярымүткәргеч җитештерүдә субстратны эшкәртү вакытында яки субстратта формалашкан нечкә пленка эшкәртү вакытында “эфирлау” дигән техника бар. Эшләү технологиясен үстерү Intel нигез салучы Гордон Мурның 1965-нче елда "транзисторларның интеграция тыгызлыгы 1,5-2 ел эчендә икеләтә артачак" (гадәттә "Мур Законы" дип аталган) фаразын тормышка ашыруда роль уйнады.
Эшләү - чүпләү яки бәйләү кебек "өстәмә" процесс түгел, ә "субтрактив" процесс. Моннан тыш, төрле кырлау ысуллары буенча, ул ике категориягә бүленә, алар "дымлы эфир" һәм "коры эфир". Гади итеп әйткәндә, элеккеге эретү ысулы, соңгысы - казу ысулы.
Бу мәкаләдә без һәрбер чистарту технологиясенең характеристикаларын һәм аермаларын, дымлы эфир һәм коры эфирны, шулай ук һәрберсенә яраклы куллану өлкәләрен кыскача аңлатырбыз.
Эшләү процессына күзәтү
Эшләү технологиясе XV гасыр урталарында Европада барлыкка килгән диләр. Ул вакытта кислота язылган бакыр тәлинкәгә салынган, бакырны коррупцияләү өчен, интаглио барлыкка китергән. Коррозия эффектларын кулланган өслек белән эшкәртү ысуллары “эфиринг” дип атала.
Ярымүткәргеч җитештерүдә эфир процессының максаты - субстратны яки пленканы рәсем буенча кисү. Фильм формалаштыру, фотолитография һәм эфирга әзерлек адымнарын кабатлап, планар структурасы өч үлчәмле структурага эшкәртелә.
Дым суыру һәм коры эфир арасындагы аерма
Фотолитография процессыннан соң, ачыкланган субстрат дымлы яки коры эфир процессында.
Дым эфиры эремә куллана һәм өслекне кырып ташлый. Бу ысул тиз һәм арзан эшкәртелсә дә, аның җитешсезлеге - эшкәртү төгәллеге бераз түбәнрәк. Шуңа күрә, коры эфир 1970-нче еллар тирәсендә туган.
"Изотропия" һәм "Анисотропия"
Дым белән коры эфир арасындагы аерманы керткәндә, төп сүзләр "изотроп" һәм "анисотроп". Изотропия - матдә һәм космосның физик үзлекләре юнәлеш белән үзгәрми, анисотропия матдә һәм космосның физик үзлекләре юнәлеш белән үзгәрүен аңлата.
Изотроп эфиры дигән сүз, эфирлау билгеле бер нокта тирәсендә бер үк күләмдә бара, һәм анисотроп эфирлау билгеле бер нокта тирәсендә төрле юнәлештә бара дигән сүз. Мәсәлән, ярымүткәргеч җитештерү вакытында эфирда анисотроп эшкәртү еш сайлана, шуңа күрә максат юнәлеше кырылган, бүтән юнәлешләр сакланмаган.
"Изотроп Этч" һәм "Анисотроп Этч" рәсемнәре
Химик матдәләр кулланып дым эфиры.
Дым эфиры химик һәм субстрат арасында химик реакция куллана. Бу ысул белән анисотроп эфирлау мөмкин түгел, ләкин изотроп эфирга караганда күпкә авыррак. Чишелешләр һәм материаллар кушылуында бик күп чикләүләр бар, һәм субстрат температурасы, эремә концентрациясе, өстәмә күләм кебек шартлар катгый контрольдә тотылырга тиеш.
Шартлар никадәр матур итеп көйләнсәләр дә, 1 ммнан түбән эшкәртүгә ирешү авыр. Моның бер сәбәбе - ягулыкны контрольдә тоту.
Undercutting - феномен. Материал вертикаль юнәлештә (тирәнлек юнәлешендә) дым эрү белән эреп бетәр дип өметләнсә дә, чишелешнең як-якка бәрелүен бөтенләй булдырып булмый, шуңа күрә материалны параллель юнәлештә таркату котылгысыз дәвам итәчәк. . Бу күренеш аркасында, дым эфиры очраклы рәвештә максат киңлегеннән таррак бүлекләр чыгара. Шул рәвешле, төгәл агым контроле таләп иткән продуктларны эшкәрткәндә, репродуктивлык түбән һәм төгәллеге ышанычсыз.
Чиста эфирда мөмкин булган уңышсызлык мисаллары
Ни өчен коры эфир микромахинация өчен яраклы
Бәйләнешле сәнгатьнең тасвирламасы Анисотроп эшкәртү өчен яраклы коры эфир ярымүткәргеч җитештерү процессында югары төгәл эшкәртү таләп итә. Коры эфирны еш реактив ион эфиры (RIE) дип атыйлар, бу шулай ук киң мәгънәдә плазма эфиры һәм бөтерелү эфирын кертә ала, ләкин бу мәкалә RIE турында.
Ни өчен анисотроп эфиры коры эфир белән җиңелрәк икәнен аңлату өчен, әйдәгез RIE процессын җентекләп карап чыгыйк. Коры чистарту процессын бүлеп, субстратны ике төргә бүлеп аңлау җиңел: "химик эфир" һәм "физик эфир".
Химик эфир өч этапта була. Беренчедән, реактив газлар өслектә adsorbed. Аннары реакция продуктлары реакция газыннан һәм субстрат материалдан барлыкка килә, һәм ниһаять реакция продуктлары дезорбизацияләнә. Киләсе физик эфирда субстрат аргон газын субстратка вертикаль рәвештә кулланып, вертикаль рәвештә аска ясала.
Химик эфир изотропик рәвештә була, ә физик эфир анисотроп рәвештә газ куллану юнәлешен контрольдә тотып була. Бу физик кычкыру аркасында, коры эфирлау дымга караганда эфир юнәлешенә күбрәк контроль ясарга мөмкинлек бирә.
Коры һәм дымлы эфирлау шулай ук дым эфиры белән бер үк катгый шартлар таләп итә, ләкин ул дымлы эфирга караганда күбрәк үрчүчәнлеккә ия һәм контроль өчен бик җиңел әйберләргә ия. Шуңа күрә, коры эфир сәнәгать җитештерүенә уңайлырак.
Нигә дым чистарту әле кирәк
Чиксез куәтле булып күренгән коры эфирны аңлагач, ни өчен дым эфиры әле дә бар дип уйланырга мөмкин. Ләкин, сәбәбе гади: дым эфиры продуктны арзанрак итә.
Коры чистарту һәм дымлы эфир арасындагы төп аерма - бәя. Дым эфирында кулланылган химик матдәләр ул кадәр кыйммәт түгел, һәм җиһазның бәясе коры чистарту җиһазларының 1/10 тирәсе диләр. Моннан тыш, эшкәртү вакыты кыска һәм берничә субстрат бер үк вакытта эшкәртелә ала, җитештерү чыгымнарын киметә. Нәтиҗәдә, без көндәшләрдән өстенлек биреп, продукт чыгымнарын түбән саклый алабыз. Эшкәртү төгәллегенә таләпләр югары булмаса, күпчелек компанияләр тупас масса җитештерү өчен дым эфирын сайларлар.
Эфир процессы микрофабрика технологиясендә роль уйный торган процесс буларак кертелде. Чистарту процессы якынча дымлы һәм коры эфирга бүленә. Әгәр дә кыйммәт мөһим булса, элеккеге яхшырак, ә 1 ммнан түбән микропроцесслау кирәк булса, соңгысы яхшырак. Идеаль рәвештә, процесс кайсысы яхшырак түгел, ә җитештереләчәк продукт һәм бәягә нигезләнеп сайланырга мөмкин.
Пост вакыты: 16-2024 апрель