Бер кристаллның радиаль каршылыгының бердәмлегенә тәэсир итүче төп сәбәпләр - каты-сыек интерфейсның яссылыгы һәм кристалл үсеше вакытында кечкенә яссылык эффекты.
Каты-сыек интерфейсның яссылыгының йогынтысы Кристалл үсеше вакытында, эретү тигез булса, тигез каршылык өслеге каты-сыек интерфейс (эретүдәге пычраклык концентрациясе кристаллдагы пычрак концентрациясеннән аерылып тора, шуңа күрә) каршылык төрле, һәм каршылык каты-сыек интерфейста гына тигез). П <1 пычраклыгы булганда, эретелгән интерфейс конвекс радиаль каршылыкның уртада һәм кырыйда түбән булуына китерәчәк, ә интерфейс эретүгә каршы. Тигез каты-сыек интерфейсның радиаль каршылык бердәмлеге яхшырак. Кристалл тарту вакытында каты-сыек интерфейсның формасы җылылык кырын бүлү һәм кристалл үсеш параметрлары кебек факторлар белән билгеләнә. Туры тартылган бер кристаллда каты-сыек өслекнең формасы мич температурасы бүленеше һәм кристалл җылылыкның таралуы кебек факторларның берләштерелгән эффекты нәтиҗәсе.
Кристалларны тартканда, каты-сыек интерфейста дүрт төп җылылык алмашу бар:
Эретелгән кремний катысы белән чыгарылган фаза үзгәрүенең яшерен җылылыгы
Эретүнең җылылык үткәрүе
Кристалл аша җылылык үткәрү
Кристалл аша тышкы нурланыш
Яшерен җылылык бөтен интерфейс өчен бертөрле, һәм үсеш темплары даими булганда аның күләме үзгәрми. (Тиз җылылык үткәрү, тиз суыту, каты катламның артуы)
Growingсеп барган кристаллның башы бер кристалл мичнең су белән суытылган орлык кристалл таягына якын булганда, кристаллдагы температура градиенты зур, бу кристаллның озын җылылык үткәрүен өслек нурланышыннан зуррак итә, шулай итеп каты-сыек интерфейс эретүгә конвекс.
Кристалл уртага үскәч, озынлыктагы җылылык үткәрү өслек нурланыш җылысына тигез, шуңа күрә интерфейс туры.
Кристалл койрыгында озынлыктагы җылылык үткәрү өслек нурланыш җылысыннан азрак, каты-сыек интерфейс эретүгә конвейк ясый.
Бердәм радиаль каршылыгы булган бер кристаллны алу өчен каты-сыек интерфейс тигезләнергә тиеш.
Кулланылган ысуллар: thermылылык кырының радиаль температурасы градиентын киметү өчен кристалл үсеш җылылык системасын көйләгез.
TheКристалл тарту операция параметрларын көйләгез. Мәсәлән, эретелгән интерфейс конвекс өчен, кристаллның катылану тизлеген арттыру өчен тарту тизлеген арттырыгыз. Бу вакытта, интерфейста чыгарылган кристаллизация яшерен җылылыкның артуы аркасында, интерфейс янындагы эретү температурасы арта, нәтиҗәдә кристаллның бер өлеше интерфейста эри, интерфейс яссы була. Киресенчә, үсеш интерфейсы эретүгә туры килсә, үсеш темплары кимергә мөмкин, һәм эретү тиешле күләмне ныгытачак, үсеш интерфейсын тигез итәчәк.
The Кристаллның әйләнү тизлеген көйләгез. Кристалл әйләнү тизлеген арттыру, югары температуралы сыеклык агымын каты-сыек интерфейста түбәннән югарыга күчерәчәк, интерфейс конвексдан конвейкка үзгәрәчәк. Хачның әйләнеше аркасында килеп чыккан сыеклык агымының юнәлеше табигый конвекция белән бертигез, һәм эффект кристалл әйләнешенә бөтенләй капма-каршы.
The Эчке диаметрның кристалл диаметрына мөнәсәбәтен арттыру каты-сыек интерфейсны тигезләячәк, шулай ук кристаллдагы дислокация тыгызлыгын һәм кислород күләмен киметергә мөмкин. Гадәттә, мөһим диаметр: кристалл диаметр = 3 ~ 2,5: 1.
Кечкенә яссылык эффектының йогынтысы
Кристалл үсешенең каты-сыек интерфейсы еш кына эретелгән изотермның чикләнүе аркасында кәкре. Әгәр кристалл кристалл үсеше вакытында тиз күтәрелсә, (111) германий һәм кремний бер кристаллның каты-сыек интерфейсында кечкенә яссы яссылык барлыкка киләчәк. Бу (111) атом ябык самолет, гадәттә кечкенә яссылык дип атала.
Кечкенә яссылык өлкәсендә пычраклык концентрациясе кечкенә булмаган яссылык өлкәсеннән бик нык аерылып тора. Кечкенә яссылык өлкәсендә пычракларның аномаль бүленеше бу күренеш кечкенә яссылык эффекты дип атала.
Кечкенә яссылык эффекты аркасында, кечкенә яссылык өлкәсенең каршылыгы кимиячәк, һәм авыр очракларда пычрак торба үзәкләре барлыкка киләчәк. Кечкенә яссылык эффекты аркасында килеп чыккан радиаль каршылыкның бертөрлелеген бетерү өчен, каты-сыек интерфейсны тигезләргә кирәк.
Киләсе сөйләшү өчен безгә бөтен дөньядан килгән клиентларны рәхим итегез!
https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/
Пост вакыты: Июль-24-2024