Бер кристалл кремнийның үсеш процессы тулысынча җылылык кырында алып барыла. Яхшы җылылык кыры кристалл сыйфатын яхшырту өчен ярдәм итә һәм кристаллизациянең югары эффективлыгына ия. Rылылык кырының дизайны динамик җылылык кырындагы температура градиентларының үзгәрүен һәм үзгәрүен билгели. Мич камерасында газ агымы һәм җылылык кырында кулланылган материалларның аермасы җылылык кырының хезмәт срогын турыдан-туры билгели. Акылсыз эшләнгән җылылык кыры сыйфат таләпләренә туры килгән кристаллларны үстерүне кыенлаштырмый, шулай ук кайбер процесс таләпләре буенча тулы бер кристаллны үстерә алмый. Шуңа күрә Чохральски монокристалл кремний индустриясе җылылык кыры дизайнын төп технология дип саный һәм җылылык өлкәсен тикшерүгә һәм эшкәртүгә зур эшче көче һәм материаль ресурслар сала.
Rылылык системасы төрле җылылык кыры материалларыннан тора. Термаль кырда кулланылган материалларны кыскача гына таныштырырбыз. Rылылык кырындагы температураның бүленеше һәм аның кристалл тартуга тәэсиренә килгәндә, без монда анализ ясамыйбыз. Rылылык кыры материалы кристалл үсеш вакуум мичен аңлата. Палатаның структур һәм термик изоляцияләнгән өлешләре, алар ярымүткәргеч эретү һәм кристалл тирәсендә тиешле температура тукымасын булдыру өчен кирәк.
бер. җылылык кыры структур материаллары
Чохральски ысулы белән бер кристалл кремнийны үстерү өчен төп материал - югары чисталыклы графит. Графит материаллары хәзерге индустриядә бик мөһим роль уйныйлар. Чохральски ысулы белән бер кристалл кремнийны әзерләгәндә, алар җылылык, юл трубалары, крестибльләр, изоляция трубалары һәм критик подшипниклар кебек җылылык кырының структур компонентлары буларак кулланылырга мөмкин.
Графит материалы зур күләмдә әзерләнү җиңеллеге, эшкәртүчәнлеге һәм югары температурага каршы тору аркасында сайланган. Алмаз яки графит рәвешендәге углерод эретү ноктасына теләсә нинди элемент яки кушылмага караганда югарырак. Графит материалы бик көчле, аеруча югары температурада, һәм аның электр һәм җылылык үткәрүчәнлеге дә бик яхшы. Аның электр үткәрүчәнлеге аны җылыткыч материалы итеп яраклаштыра, һәм җылылык үткәрүчәнлегенә ия, җылыткыч җитештергән җылылыкны җылылык кырының мөһим һәм бүтән өлешләренә тигез тарата ала. Ләкин, югары температурада, аеруча озын араларда, җылылык җибәрүнең төп режимы - нурланыш.
Графит өлешләре башта экструзия яки бәйләүче белән кушылган нечкә углерод кисәкчәләрен изостатик кысу белән барлыкка килә. Graphгары сыйфатлы графит өлешләре гадәттә изостатик рәвештә кысыла. Бөтен кисәк башта карбонлаштырылган, аннары бик югары температурада графиклаштырылган, 3000 ° C ка якын. Бу монолитлардан эшләнгән өлешләр еш ярымүткәргеч сәнәгате таләпләрен үтәү өчен металл пычрануны бетерү өчен югары температурада хлор булган атмосферада чистартыла. Ләкин, хәтта чистарту белән дә, металлның пычрану дәрәҗәсе кремний бер кристалл материаллар рөхсәт иткәннән зуррак зурлыктагы заказлар. Шуңа күрә җылылык кыры дизайнында бу компонентларның эрү яки кристалл өслегенә кермәве өчен сак булырга кирәк.
Графит материалы бераз үткәргечле, ул калган металлны өслеккә җиңел үтәргә мөмкинлек бирә. Моннан тыш, графит өслегендә чистарту газында булган кремний оксиды күпчелек материалларга тирән үтеп керә ала.
Беренче кристалл кремний мич җылыткычлары вольфрам һәм молибден кебек отрядлы металлдан эшләнгән. Графит эшкәртү технологиясе җиткәч, графит компонентлары арасындагы бәйләнешнең электр үзлекләре тотрыклы була, һәм бер кристалл кремний мич җылыткычлары вольфрам, молибден һәм башка материаль җылыткычларны тулысынча алыштырдылар. Хәзерге вакытта иң киң кулланылган графит материалы - изостатик графит. ярымсера югары сыйфатлы изостатик басылган графит материаллары белән тәэмин итә ала.
Чохральскида бер кристалл кремний мичләрендә C / C композицион материаллар кайвакыт кулланыла, һәм хәзер болтлар, гайкалар, крестибльләр, йөкле тәлинкәләр һәм башка компонентлар җитештерү өчен кулланыла. Углерод / углерод (с / с) составлы материаллар - углерод җепселләре ныгытылган углерод нигезендәге композит материаллар. Аларда югары специфик көч, югары специфик модуль, түбән җылылык киңәйтү коэффициенты, яхшы электр үткәрүчәнлеге, зур сыну катылыгы, түбән тарту көче, җылылык шокына каршы тору, коррозиягә каршы тору, ул югары температурага каршы тору кебек искиткеч үзенчәлекләргә ия һәм хәзерге вакытта киң таралган аэрокосмос, чабыш, биоматериал һәм башка өлкәләрдә югары температурага чыдам структур материал буларак кулланыла. Хәзерге вакытта, C / C композицион материаллар белән очрашкан төп кыенлык - бәяләр һәм индустриализация проблемалары.
Rылылык кырларын ясау өчен кулланылган башка бик күп материаллар бар. Карбон җепселләре ныгытылган графит яхшырак механик үзлекләргә ия; шулай да, ул кыйбатрак һәм башка дизайн таләпләрен куя. Кремний карбид (SiC) күп яктан графитка караганда яхшырак материал, ләкин зур күләмле өлешләр ясау күпкә кыйммәтрәк һәм авыр. Ләкин, SiC еш агрессив кремний газы тәэсирендә булган графит өлешләренең гомерен арттыру, шулай ук графиттан пычрануны киметү өчен CVD каплавы буларак кулланыла. Тыгыз CVD кремний карбид каплавы микропороз графит материалы эчендәге пычраткыч матдәләрнең өскә килеп җитүен тыя.
Икенчесе - CVD углерод, ул графит өлешләре өстендә тыгыз катлам барлыкка китерә ала. Башка югары температурага чыдам материаллар, мәсәлән, молибден яки керамик материаллар, әйләнә-тирә мохиткә туры килә, эретү пычрану куркынычы булмаган җирдә кулланырга мөмкин. Ләкин, оксид керамикасы югары температурада графит материаллары белән туры элемтә өчен чикләнгән яраклылыкка ия, изоляция кирәк булса, еш кына берничә альтернатива калдыра. Берсе алты почмаклы бор нитриды (охшаш үзенчәлекләр аркасында кайвакыт ак графит дип атала), ләкин аның начар механик үзлекләре бар. Молибден, гадәттә, уртача температурасы, кремний кристаллларында аз диффузивлыгы, һәм түбән сегрегация коэффициенты аркасында 5 × 108 чамасы югары температураны куллану өчен акыллы, бу кристалл структурасын җимергәнче кайбер молибденны пычратырга мөмкинлек бирә.
ике. Rылылык кыры изоляциясе материаллары
Иң еш кулланыла торган изоляция материалы - төрле формадагы углерод. Углерод җылылык изоляциясе булып торган нечкә җепселләрдән эшләнгән, чөнки алар җылылык нурланышын кыска арада күп тапкыр блоклыйлар. Йомшак углерод кисәге чагыштырмача нечкә материалга үрелгән, аннары кирәкле формага киселә һәм радиуска нык бәйләнгән. Шифалы кием охшаш җепсел материалларыннан тора, таралган җепселләрне тагын да каты һәм бизәкле әйбергә тоташтыру өчен углеродлы бәйләүче куллана. Баглау урынына углеродның химик пар парламенты куллану материалның механик үзлекләрен яхшырта ала.
Гадәттә, изоляцияләнгән дәваланган тышкы өслек өзлексез графит каплау яки фольга белән капланган, эрозияне һәм киемне киметү өчен, шулай ук кисәкчәләр пычрануы. Углерод нигезендәге изоляция материалларының башка төрләре дә бар, мәсәлән, углерод күбек. Гомумән алганда, графикалаштырылган материалларга өстенлек бирелә, чөнки графитизация җепсел өслеген киметә. Бу биек өслек мәйданы материаллары күпкә азрак чыгарга мөмкинлек бирә һәм мичне тиешле вакуумга тарту өчен азрак вакыт ала. Калган төре - C / C композицион материал, ул җиңел авырлык, зур зыянга чыдамлык, югары көч кебек күренекле үзенчәлекләргә ия. Графит өлешләрен алыштыру өчен җылылык кырларында кулланыла, бу графит өлешләрен алыштыру ешлыгын сизелерлек киметә һәм бер кристалл сыйфатын һәм җитештерү тотрыклылыгын яхшырта.
Чимал классификациясе буенча, углерод полиакрилонитрил нигезендәге углерод, вискоз нигезендәге углерод һәм асфальт нигезендәге углерод кисәгенә бүләргә мөмкин.
Полиакрилонитрил нигезендәге углеродның зур күләме бар, һәм монофиламентлар югары температурада эшкәртелгәннән соң ваталар. Эш вакытында тузан мич мохитен пычрату өчен җиңел чыгарыла. Шул ук вакытта җепселләр кеше күзәнәкләренә һәм сулыш юлларына җиңел керәләр, бу кеше сәламәтлегенә зыян китерә; вискозага нигезләнгән углерод җылылык изоляциясе яхшы, җылылык белән эшкәртелгәннән соң чагыштырмача йомшак, тузан чыгару ихтималы аз. Ләкин, вискозага нигезләнгән полосаларның кисемтәсе тәртипсез формага ия һәм җепсел өслегендә бик күп ярлар бар, алар Чохральский кристалл кремний мичендә оксидлаштыручы атмосфера булганда барлыкка килү җиңел. СО2 кебек газлар бер кристалл кремний материалларында кислород һәм углерод элементларының явым-төшеменә китерәләр. Төп җитештерүчеләргә Германия SGL һәм башка компанияләр керә. Хәзерге вакытта ярымүткәргеч бер кристалл индустриясендә иң киң кулланылган углерод тоны, һәм аның җылылык изоляциясе ябыштырылган углеродныкына караганда яхшырак. Сагызга нигезләнгән углерод тойгысы түбән, ләкин асфальт нигезендәге углерод чисталыгы һәм тузан чыгаруы түбән. Manufactитештерүчеләргә Япониянең Kureha Chemical, Osaka Gas һ.б.
Углеродның формасы тотрыклы булмаганлыктан, эшләү уңайсыз. Хәзер күп компанияләр яңа җылылык изоляциясе материалын эшләделәр, углерод тойгысы - дәваланган углерод. Шифалы углерод тойгысы каты тойгы дип тә атала. Бу резин, ламинатланган, каты һәм карбонлаштырылганнан соң билгеле бер формага һәм үз-үзен тотрыклылыкка ия булган углерод тойгысы.
Бер кристалл кремнийның үсеш сыйфаты җылылык кыры мохитенә турыдан-туры тәэсир итә, һәм углерод җепселләрен изоляцияләү материаллары бу мохиттә төп роль уйныйлар. Карбон җепсел җылылык изоляциясе йомшак тоем фотоволтаик ярымүткәргеч тармагында зур өстенлек алып тора, бәясе өстенлекләре, искиткеч җылылык изоляциясе эффекты, сыгылмалы дизайн һәм көйләнә торган форма. Моннан тыш, углерод җепселенең каты изоляциясе җылылык кыры материалы базарында билгеле бер көч һәм югары оперативлык аркасында үсеш өчен зур урын алачак. Без җылылык изоляциясе материаллары өлкәсендә тикшеренүләр үткәрергә һәм фотоволтаик ярымүткәргеч сәнәгатенең үсешенә һәм үсешенә ярдәм итәр өчен продукт җитештерүчәнлеген өзлексез оптимальләштерергә тиеш.
Пост вакыты: 15-2024 май