Семицера югары чисталыкКремний Карбид Падлзаманча ярымүткәргеч җитештерү процессларының катгый таләпләрен канәгатьләндерү өчен җентекләп эшләнгән. БуSiC Cantilever Paddleтиңсез җылылык тотрыклылыгын һәм механик ныклыгын тәкъдим итеп, югары температура шартларында өстенлек бирә. SiC Cantilever структурасы экстремаль шартларга каршы тору өчен төзелгән, төрле процессларда ышанычлы вафин эшкәртүне тәэмин итә.
Төп яңалыкларның берсеSiC Paddleбулган системаларга җиңел интеграцияләнергә мөмкинлек бирүче җиңел, ләкин нык дизайн. Аның югары җылылык үткәрүчәнлеге эфирлау һәм чүпләү кебек критик этапларда вафин тотрыклылыгын сакларга булыша, вафер зыянын киметә һәм югары җитештерүчәнлекне тәэмин итә. Кадр төзелешендә югары тыгызлыктагы кремний карбидын куллану аның тузуга һәм җимерелүгә каршы торышын көчәйтә, озын гомерле тәэмин итә һәм еш алыштыру ихтыяҗын киметә.
Семицера инновациягә зур игътибар бирә, аSiC Cantilever Paddleбу сәнәгать стандартларына туры килә генә түгел. Бу калак төрле ярымүткәргеч кушымталарда куллану өчен оптимальләштерелгән, чүплектән эфирга кадәр, төгәллек һәм ышанычлылык бик мөһим. Бу заманча технологияне интеграцияләп, җитештерүчеләр яхшырган эффективлыкны, хезмәт күрсәтү чыгымнарын киметүне һәм продуктның эзлекле сыйфатын көтә ала.
| Кремний карбидының рестральләштерелгән физик үзлекләре | |
| Милек | Типик кыйммәт |
| Эш температурасы (° C) | 1600 ° C (кислород белән), 1700 ° C (әйләнә-тирә мохитне киметү) |
| SiC эчтәлеге | > 99,96% |
| Бушлай Si эчтәлеге | <0,1% |
| Күпчелек тыгызлык | 2.60-2,70 г / см3 |
| Күренекле күзәнәк | <16% |
| Кысу көче | > 600 MPa |
| Салкын бөкләү көче | 80-90 MPa (20 ° C) |
| Кайнар бөкләү көче | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| 00ылылык киңәюе @ 1500 ° C. | 4.70 10-6/ ° C. |
| Rылылык үткәрүчәнлеге @ 1200 ° C. | 23 Вт / м • К. |
| Эластик модуль | 240 GPa |
| Rылылык шокына каршы тору | Бик яхшы |
