Cгары чисталык SiC Carrier / Susceptor

Кыска тасвирлау:

Кремний карбид йөртүче диск шулай ук СИС лодкасы, кремний карбид эшкәртү дискы, ICP эфир дискы буларак та билгеле. LED эфир өчен кремний карбид лодкасы (SiC подшипка) 00600 мм - тирән кремний эфиры өчен махсус аксессуар (ICP эшкәртү машинасы).

Безгә электрон почта җибәрегез

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

Тасвирлау

Кремний карбид керамикасы бүлмә температурасында бик яхшы механик үзлекләргә ия, мәсәлән, югары көч, каты, югары эластик модуль һ.б. эшкәртү эше.
Алар литографик машиналар кебек интеграль схема җиһазлары өчен төгәл керамик өлешләр җитештерү өчен аеруча яраклы, нигездә SiC ташучы / сусептор, SiC вафер көймәсе, сорау дискы, су суыту тәлинкәсе, төгәл үлчәү рефлекторы, торлау һәм башка керамик структур өлешләр.

ташучы2

ташучы3

ташучы4

Уңай яклары

Temperatureгары температурага каршы тору: 1800 at нормаль куллану
Highгары җылылык үткәрүчәнлеге: графит материалга тиң
Hardгары катылык: каты алмаздан, бор нитридыннан соң икенче урында
Коррозиягә каршы тору: көчле кислота һәм эшкәртү аңа коррозия юк, коррозиягә каршы тору вольфрам карбидыннан һәм алуминадан яхшырак.
Lightиңел авырлык: аз тыгызлык, алюминийга якын
Деформация юк: җылылык киңәюенең түбән коэффициенты
Rылылык шокына каршы тору: ул кискен температураның үзгәрүенә каршы тора ала, җылылык шокына каршы тора һәм тотрыклы эш итә
Кремний карбид ташучы, мәсәлән, эфир ташучы, ICP эфир сусепторы, ярымүткәргеч CVD, вакуум спуттеринг һ.б. киң кулланыла. Без клиентларга кремний һәм кремний карбид материалларының махсуслаштырылган вафер ташучылары белән тәэмин итә алабыз.

Уңай яклары

Милек	Кыйммәт	Метод
Тыгызлыгы	3.21 г / цк	Чокыр һәм йөзү
Аерым җылылык	0,66 J / g ° K.	Лазер флэш
Флексур көч	450 MPa560 MPa	4 балл бөкләнү, RT4 нокта бөкләү, 1300 °
Сынык каты	2.94 MPa m1 / 2	Микроиндентация
Каты	2800	Викер, 500г йөк
Эластик модуль Яшьнең модуле	450 GPa430 GPa	4 пт бөкләнү, RT4 pt бөкләү, 1300 ° C.
Ашлык күләме	2 - 10 мм	SEM

Компания профиле

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. алдынгы ярымүткәргеч керамиканы әйдәп баручы һәм Кытайда бер үк вакытта югары чисталык кремний карбид керамикасын (аеруча Рекристализацияләнгән SiC) һәм CVD SiC каплауны тәэмин итүче бердәнбер җитештерүче. Моннан тыш, безнең компания шулай ук керамик кырларга, мәсәлән, алумина, алюминий нитрид, циркония, кремний нитриды һ.б.

Безнең төп продуктлар: кремний карбид эшкәртү дискы, кремний карбид көймәсе, кремний карбид вафер көймәсе (Фотовольтаик һәм ярымүткәргеч), кремний карбид мич трубасы, кремний карбид кантильверы, кремний карбид чәкләре, кремний карбид балкышы, шулай ук CVD SiC каплау һәм TaC. каплау. Ярымүткәргеч һәм фотоволтаик тармакларда кулланылган продуктлар, мәсәлән, кристалл үсеше өчен җиһазлар, эпитакси, эфирлау, төрү, каплау, каплау һәм диффузия мичләре һ.б.
турында (2)