Float Zone Wafer йөзүче зонаны эретү ысулы белән үстерелә (Float Zone эретү ысулы), шулай ук зона эретү вафасы, FZ ваферы, югары чисталык кремний вафины, CZ кристалл кремний вафиның туры сызылган процессын алыштыра ала.CZ ысулы белән җитештерелгән ваферлар белән чагыштырганда, зональләштерелгән вафиннарның бик күп өстенлекләре бар, мәсәлән, критик, аз җитештерү йөге, һәм эретү ноктасы чикләнмәү, аларны кояш модуллары, RF җайланмалары, төгәл электр җайланмалары кебек куллану өчен идеаль итә. FZ ваферларында кислород һәм углерод пычракларының концентрациясе түбән, һәм механик көчен яхшырту өчен азот махсус кушыла.
Предмет | Аргумент | Тикшерү үрнәге |
Сан: |
| 100 даана |
Methodсеш ысулы: | Йөзү зонасы | FZ |
Диаметр: | 50/75/100/150/200/300 мм | 100 мм |
Тип / Допант: | P-Type / N-Type / Эчке | N-Type |
Ориентация: | <1-0-0> / <1-1-0> / <1-1-1>或其它 | <100> |
Каршылык: | 100 ~ 30,000 охм-см | 3000 охм-см |
Калынлык: | 275 um ~ 775 um | 500ум |
Тәмам: | SSP / DSP | DSP |
Фатирлар: | Нечкәлек / Ике SEMI стандарт фатир | Notch |
BOW / WARP: | <10 мм | <40ум |
TTV: | <5 µm | <20ум |
Сыйфат: | Премьер / Тест / Думми | Премьер |