Атом катламы (ALD) - химик пар парламенты технологиясе, ике яки аннан да күбрәк прекурсор молекулаларын чиратлашып, нечкә пленкалар катламын катлам буенча үсә. ALD югары контрольлек һәм бердәмлекнең өстенлекләренә ия, һәм ярымүткәргеч җайланмаларда, оптоэлектрон җайланмаларда, энергия саклау җайланмаларында һәм башка өлкәләрдә киң кулланылырга мөмкин. ALD-ның төп принципларына прекурсор adsorption, өслек реакциясе һәм продуктны чыгару керә, һәм бу адымнарны циклда кабатлап күп катламлы материаллар барлыкка килергә мөмкин. ALD югары контрольлек, бердәмлек, күзәнәк булмаган структураның характеристикалары һәм өстенлекләренә ия, һәм төрле субстрат материаллар һәм төрле материаллар урнаштыру өчен кулланылырга мөмкин.
ALD түбәндәге үзенчәлекләргә һәм өстенлекләргә ия:
1. controlгары контрольлек:ALD катлам-катлам үсеш процессы булганлыктан, материалның һәр катламының калынлыгы һәм составы төгәл контрольдә тотыла ала.
2. Бердәмлек:ALD бүтән субстрат өслегендә материалларны бертөрле урнаштыра ала, бүтән чүпләү технологияләрендә булырга мөмкин тигезсезлектән.
3. Күзәнәк булмаган структура:ALD бер атом яки бер молекула берәмлекләренә салынганлыктан, барлыкка килгән фильм гадәттә тыгыз, күзәнәк булмаган структурага ия.
4. Яхшы яктырту күрсәткече:ALD югары аспект коэффициент структураларын эффектив каплый ала, мәсәлән, нанопор массивлары, югары күзәнәк материаллары һ.б.
5. Зурлык:ALD төрле субстрат материаллар өчен кулланылырга мөмкин, шул исәптән металл, ярымүткәргеч, пыяла һ.б.
6. Күпкырлы:Төрле прекурсор молекулаларын сайлап, ALD процессына төрле материаллар урнаштырылырга мөмкин, мәсәлән, металл оксидлары, сульфидлар, нитридлар һ.б.
